v 功能特點
ü 矩形SS316L電拋光，內腔屏蔽
ü 本底真空5E-7Torr或5E-10Torr
ü UHV真空泵和真空計
ü 6 x 3寸行星樣品操作臺（公、自轉）
ü 石英紅外線燈，樣品加熱溫度300°C
ü 多個坩堝電子束蒸發源
ü 膜厚監測儀
ü FBBeam系統控制軟件
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